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旋涂勻膠機(jī)工作原理和性能

勻膠機(jī)（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
通過PLC控制系統(tǒng)，運(yùn)行干擾小，可靠性高。人機(jī)交互按鍵顯示操作，界面友好，更直觀便捷，用戶可靈活編制、儲(chǔ)存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。
勻膠機(jī)可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不同材料的制備過程，每個(gè)程序段都能設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。

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